Niederspannungsrasterelektronenmikroskopie

Projektleitung und Mitarbeiter

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Forschungsbericht : 1994-1996

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Projektbeschreibung

Niederenergetische Elektronen (0,5-3 keV) ermöglichen eine aufladungsfreie Abbildung unbehandelter Oberflächen von Isolatoren, Halbleitern und biologischen Objekten bei gutem Signal/Rausch-Verhältnis, bei geringer Strahlenschädigung und hohem Topographiekontrast. Hauptsächlich für die Elektronenstrahlinspektion integrierter Halbleiterschaltungen wurde daher in den letzten Jahren die Elektronenoptik von Niederspannungsrasterelektronenmikroskopen verbessert. Das Auflösungsvermögen derartiger Geräte wurde näher untersucht, besonders der Einfluß der Coulomb-Wechselwirkung von Strahlelektronen auf die auflösungsbestimmende Elektronensonde. Als Beitrag zur Materialforschung haben wir Oberflächenstrukturen verschiedener Autoabgaskatalysatoren untersucht, und es konnten erfolgreich Korrelationen zwischen der Oberflächenstruktur und der selektiven Reduktion von Stickstoffmonoxid durch den Katalysator gefunden werden.

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